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      產(chǎn)品名稱:P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺

      產(chǎn)品型號:

      產(chǎn)品報(bào)價(jià):

      產(chǎn)品特點(diǎn):P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺 產(chǎn)品特點(diǎn): XY 軸行程 18μm/ 軸;開 / 閉環(huán)可選;承載可達(dá) 0.5kg;真空版本可選;

      更新日期:2025-02-24

      P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺的詳細(xì)資料:

      P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺 產(chǎn)品特點(diǎn)

       XY 軸行程 18μm/ 軸

       開 / 閉環(huán)可選

       承載可達(dá) 0.5kg

       真空版本可選

      技術(shù)參數(shù):

      型號

      S-閉環(huán)

      K-開環(huán)

      P63.XY18S

      P63.XY18K

      單位

      運(yùn)動(dòng)自由度

      X、Y

      X、Y


      驅(qū)動(dòng)控制

      2路驅(qū)動(dòng),2路傳感

      2路驅(qū)動(dòng)


      標(biāo)稱行程范圍(0 ~+120 V)

      16/軸

      16/軸

      μm±10%

      Max.行程范圍(0~+150 V)

      18/軸

      18/軸

      μm±10%

      傳感器類型

      SGS

      -


      閉/開環(huán)分辨率

      0.6

      0.2

      nm

      閉環(huán)線性度

      0.3

      -

      %F.S.

      閉環(huán)重復(fù)定位精度

      0.25

      -

      %F.S.

      俯仰/偏航/滾動(dòng)

      ≤15

      ≤15

      μrad

      空載諧振頻率

      2

      2

      KHz±20%

      閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間

      8

      0.5

      ms±20%

      承載能力

      0.5

      0.5

      kg

      靜電容量

      1.8

      1.8

      μF±20%

      工作溫度范圍

      -20~80

      -20~80

      °C

      材質(zhì)


      出線長

      1.5

      1.5

      m±10mm

      P63.XY18S P63.XY18K 壓電納米定位臺 尺寸圖

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